Semiconductor microlithography VI - March 30-31, 1981, San Jose, California
- Författare
- (Jim Dey, ed.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| cop. 1981 | USA, Bellingham, Wash | 221 sidor. diagr., ill. |